无尘室常用名词介绍(洁净室洁净度,无尘净化工程)
1、无尘室定义:无尘室是一个为了对空间内空气中的微粒做控制,所建造的特殊封闭性建筑。一般而言,无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。
2、微粒控制:无尘室微粒控制的第一步,是把室内微粒对制程影响的程度做完整分析,然后针对分析结果,订定恰当的微粒控制方式与无尘室管理模式,才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影响分析时,必须特别注意数据的量化,也就是粒径与其数量对制程的影响,才是有用的数据。
3、外来污染源:从无尘室外进入系统的污染源,外来污染源主要是由空调通风系统所导入,另外门、窗、墙壁裂缝等也是外来污染源的成因。
4、内部污染源:无尘室内部产生污染的来源,一般是制程机器与操作员工,最严重的内部污染源一般是操作员工。
5、隔离:隔离是污染控制的一种观念,也就是让污染源隔绝在无尘区域之外。这种观念多应用在高洁净度的无尘环境,例如Class100,Class10,Class1等高滤网覆盖率的无尘室,或是使用迷你洁净室将机台整个包住。
6、稀释:稀释是污染控制的另一种观念,多应用在洁净度不高的无尘室。例如在Class10000的无尘室,因为换气量不大,制程与人员产生的粒子就会在室内打转,要比较常的时间才会排出。因此新的干净空气只能稀释室内的微粒浓度,让室内洁净度控制在某一等级之下就可以了,部要求把人员与制程隔开。使用稀释法作为粒控制时,要特别注意本节第二条微粒影响分析的正确性,能掌握微粒的产生速率,才能有效的稀释微粒。
7、气流模式:指的是流场型态,气流分布,气流的流向等性质。由于微粒的移除完全掌握在气流的模式,因此愈洁净的无尘室或是无尘区域,对气流模式的掌控就愈重视。基本上要先掌握气流模式,才能掌握洁净度。
8、单一流向型气流:气流以同一个方向移动,这种无尘室称为单一流向型无尘室,以前称为层流型无尘室,定义并无多大改变。高洁净度无尘室需要单一流向型气流。
9、非单一流向型气流:气流方向不受控制,就是所谓的乱流型无尘室,洁净度较低的无尘室都是用非单一流向型气流以节省成本。
10、As-built cleanroom(刚完工的无尘室):已经完成且可以操作,所有相关支持设施皆已完成的洁净室,但并没有设备及操作设备的人员。
11、At-rest cleanroom(准备中的无尘室):已经完成且可以操作,所有相关支持设施皆已动作的无尘室,设备已加载并可以操作或已在运转,1如所指定,但没有操作设备的人员。
12、Operational cleanroom(操作中的无尘室设施):一个已在正常运转的无尘室,所有相关支持设施皆已动作,设备及人员皆已加载,运转状况可以呈现和达到其正常的功能。
无尘工程检测是许多行业均需要应用的领域,许多产品在高洁净度的洁净室生产线完成组装或者半成品时都需要进行QC检测,为了避免产品在检测环节受到二次污染,QC检测工作就必须在无尘室之中进行。常见的应用行业有电子、液晶显示屏、电脑配件、制药、生物制品、食品、饮料等要求较高的行业。
无尘检测室与普通传统洁净室有何区别?检测功能室与普通传统洁净室没什么区别,但是需要根据每个行业产品的特性不同而采用不同类型的洁净室系统工作。在生物制品、制药、食品、饮料制造业,常用的是生物洁净室。而电子、精密仪器制造等电子工业类产品则对环境温湿度要求较为严格,我们一般采用工业洁净室的类型。
无尘净化工程的建造主要用于控制产品所接触的大气洁净度及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例,无尘室级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。
无尘室每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级无尘室。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别无尘室。